请前往标签设置摘要
光刻机是用于制造微电子器件的关键设备,它通过特定的光学系统,将集成电路的图案转移到硅片上,实现芯片制造的核心环节。光刻机的精度和性能直接影响芯片的性能和制造效率。随着科技的发展,光刻机已成为现代电子产业不可或缺的一部...