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摘要:台积电采用的光刻机技术是全球半导体制造领域的核心。该技术涉及高精度的光学系统和先进的软件算法,能够实现微小尺寸的电路图案刻蚀。光刻机通过光源将掩模版上的图案投射到硅片上,配合化学显影过程,形成高精度的集成电路结...